那聲「啪」之後,生產線停了
在半導體封裝線上,最怕的聲音不是機械運轉聲,而是那一聲「啪」。
那是靜電放電(ESD)的聲音。短短一瞬,微小的電荷穿透導體表層,
一顆晶片報廢、上百顆晶圓停線、測試報告歪斜,成本就此翻倍。
封測工程師說:「最可怕的不是放電,而是我們不知道它什麼時候會發生。」
在這樣的環境裡,導電穩定性、膜層一致性與靜電消散速度,
成了每個電子製程現場不敢鬆懈的三件事。
當放電成為日常,導電就不能只是「快」
電子製程的問題,不在於靜電存在,而在於「靜電如何離開」。
若導電膜層表面粗糙度不均,或電位差無法平衡,
電荷就會在金屬表層積聚,最終以閃光形式釋放。
根據《抗靜電放電 (ESD) 是什麼?》 所述,
ESD 放電的電壓範圍可達 100 至數千伏,
足以讓精密感測器、探針座、IC 載板瞬間受損。
傳統導電鍍層(如鍍鎳或銀)雖能短期導出靜電,
但在真空或高濕環境中,表面電阻容易漂移,
導致放電速度不穩、接觸電阻上升。
這種「不穩定的導電」,對電子製程而言,比絕緣更致命。
日勝的解法:讓膜層導電、也讓它穩定
日勝企業以真空電鍍與PVD 製程 為核心,
研發出多種針對導電控制與靜電消散的膜層組合:
| 鍍層名稱 | 導電特性 | 主要用途 | 製程特色 |
|---|---|---|---|
| TiN | 表面電阻穩定(10⁶–10⁸ Ω) | 治具、夾具、載板夾片 | 高附著力、色澤均一 |
| CrN | 導電兼抗蝕 | 探針座、電極座 | 可長期運作於高濕環境 |
| ESD-DLC | 靜電消散速度快 | 吸嘴、真空夾具 | 獨家低摩擦導電膜層 |
| 複合膜 (TiN+ESD-DLC) | 導電、抗蝕、穩色 | 半導體治具、 高階模組外殼 | 導電穩定 ±2%, 膜厚均差 <0.5 μm |
相較於傳統濕式電鍍,
真空鍍膜能避免化學液污染、減少微孔形成,
並讓膜層結晶密度更高,導電性更穩定[1]。
日勝工程師總結得很直接:
導電一致性,才是封測穩定的起點
在電子產線中,「一致性」往往比「速度」更重要。
尤其是 AOI 自動光學檢測階段,若膜層表面反光不均,
感測器容易誤判成「污染」或「裂痕」。
根據 《PVD 電鍍同樣的製程會有色差嗎?》,
即使同樣的 PVD 製程,若靶材純度或電弧分佈稍有不同,
色澤就可能產生 ±3% 偏差。對電子封測而言,
這樣的差距可能導致導電異常或電位偏移。
日勝在每一批製程後,都會針對
膜層電阻、厚度、反光率進行三階段檢測。
每層膜都必須通過 ±2% 的電阻穩定性與 ±0.5 μm 的膜厚誤差。
真實案例:從放電異常到穩定導電的轉變
案例一:南部封測大廠,讓探針座不再「打火」
該廠長期受困於探針座靜電放電異常,
每次量測前都需進行手動放電。
導入日勝 ESD-DLC 導電膜層 後,
放電頻率下降 35%,AOI 誤判次數減少 20%。
經 1000 小時真空測試後,表面電阻仍維持在 10⁷ Ω。
現在,安靜反而成了安心的聲音。」
案例二:東南亞感測器模組商,防腐蝕,也防誤判
該公司長期出口至濕熱地區,
模組外殼使用鍍鎳層,半年後便出現電位飄移。
日勝改用 CrN+TiN 複合膜層,
經鹽霧測試 500 小時與高濕 85% 測試後仍無腐蝕。
模組導電穩定性提升 22%,外觀反光度維持 ±2%。
生產線報廢率因此降低一半。
案例三:北部半導體治具供應商,一致性讓良率回來了
廠使用真空夾具時,常因靜電釋放不均導致晶片崩裂。
日勝導入 TiN+ESD-DLC 複合膜,
優化導電區分佈,平衡電位差。
實測顯示導電穩定性達 ±1.8%,
治具壽命延長 1.5 倍,良率提升近三成。
讓整條線都跟著順起來。」
從靜電控制到製程信任:電子業的下一步
根據《靜電消散材料如何提升生產效率?》,
導電膜層不僅可防止 ESD 事件,
更能在高速生產環境中減少設備誤判與維修停機。
日勝企業以多層膜技術與電漿控制精度,
協助電子製造商在真空、濕熱、高頻環境中維持導電穩定。
從封裝治具到感測模組,
日勝 PVD/ ESD-DLC 技術 已不只是表面處理,
而是一種對「精度」與「可靠性」的長期承諾。
更是一種讓生產安靜下來的信任。
FAQ
Q1:哪些電子零件適合導入 ESD-DLC?
主要應用於封裝線治具、探針座、吸嘴、夾具、模組外殼等。
ESD-DLC 具導電性與低摩擦特性,能穩定放電且減少磨耗。
Q2:導電膜層與傳統鍍鎳或銀鍍層的差異是什麼?
PVD/DLC 為乾式製程,膜層結晶緻密且無液體污染。
相較於傳統濕式電鍍,導電值更穩定、抗氧化性提升 30%。
Q3:膜層導電性如何驗證?
日勝提供電阻與表面電位測試報告,
並依 IEC 61340 標準檢測靜電消散性能。
Q4:膜層會影響外觀顏色嗎?
不會。PVD 製程可精準控制色澤一致性,
並透過光譜檢測確保反光差距在 ±3% 內。
Q5:導入週期與生產量能?
樣品件最快 48 小時完成,量產約 7–10 工作天,
每批附膜厚、導電性與附著力報告,確保品質可追溯。
引用資料
- Reviews on Advanced Materials Science (2019). 抗磨塗層性能與附著力研究。